1、油擴散泵的概述：

油擴散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似，也是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達到抽真空的目的，所以會有水蒸汽噴射泵相似的特點。不一樣的一點是擴散泵工作在高真空區域，是獲得高真空的主要設備。其工作壓強范圍為10-2～10-6pa。廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗和對油污染不敏感的一些真空系統中。

2、油擴散泵的工作原理與結構：

當油蒸汽從傘形噴咀(如I級噴咀)以超音速噴射出來后，它的速度越來越快，壓力及密度慢慢降低，噴射流上邊的被抽氣體A因密度差要向蒸汽射流中擴散并被射流攜帶到水冷的泵壁處B，在B處，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油鍋中循環利用，而被抽氣體在B處堆積、壓縮，最后被下級射流攜帶走，這樣就可以逐級壓縮，最后被前級泵抽走。其抽速特性曲線如圖所示。

3、油擴散泵的發展歷程：

歷史1915年，德國物理學家W.蓋得發表了他研究的擴散泵報告。1916年，美國人I.朗繆爾制成泵壁帶有冷卻系統的冷凝泵。這些泵以汞蒸氣為工作介質，并且可以最終獲得10-5帕的真空。1928年,英國人C.D.伯爾奇發現高沸點的石油衍生物。1936年，C.D.希克曼等人制成人工合成油。這兩種油在室溫下的飽和蒸氣壓都非常低，從而取代了汞作為擴散泵的工作液。從此油擴散泵在高真空領域的工業生產和科學試驗中就逐漸普遍使用，并打下了高真空技術的基礎。1960年代開始，油擴散泵又有了新的改變。

主要的改進是：

①泵的材料采用放氣量微小的不銹鋼。

②采用飽和蒸氣壓很低、熱穩定性好的油如聚苯醚和硅油作泵的工作液。

③改變結構，新款的油擴散泵在泵的進氣口法蘭不變和不過分增大泵的外形尺寸條件下，在法蘭下部突出地擴大泵腔的斷面，其抽氣速率可增大20～40％。如在此裝設一個大直徑擴散噴嘴和液氮冷卻的大直徑擋油帽等等。該泵可有通常泵（指沒有擴大泵腔斷面的泵）的抽氣速率，并比較徹底地克服了泵的返油而獲得低于10-8帕清潔超高空。因此,油擴散泵在清潔超高真空的工業生產和科學試驗中又取得重要的地位。