主要類型:?wlw系列立式無油真空泵w型往復式真空泵2x,2xz型旋片式真空泵zjh型羅茨真空泵2sk、sk型水環式真空泵2bv、2ba型水環式真空泵h、2h型滑閥真空泵、tlz型真空泵sl型羅茨鼓風機jzjh2h型羅茨滑閥式真空機組jzjhba型羅茨水環真空機組jzjp型羅茨水噴射真空機組jzjhs型羅茨水環真空機組主真空泵的選擇計算:s=2.303v/tlog(p1/p2)其中:s為真空泵抽氣速率(l/s)v為真空室容積(l)t為達到要求真空度所需時間(s)p1為初始真空度(torr)p2為要求真空度(torr)真空泵性能參數真空泵種類工作壓強范圍(pa)起動壓強(pa)活塞式真空泵1×105~1.3×1021×105旋片式真空泵1×105―6.7×10-11×105水環式真空泵1×105―2.7×1031×105羅茨真空泵1.3×103―1.31.3×103渦輪分子泵1.3―1.3×10-51.3水蒸氣噴射泵1×105―1.3×10-11×105油擴散泵1.3×10-2―1.3×10-71.3×10油蒸氣噴射泵1.3×10―1.3×10-2<1.3×105分子篩吸附泵1×105―1.3×10-11×105濺射離子泵1.3×10-3―1.3×10-96.7×10-1鈦升華泵1.3×10-2―1.3×10-91.3×10-2鋯鋁吸氣劑泵1.3×10―1.3×10-111.3×10低溫泵1.3―1.3×10-111.3―1.3×10-1