一、真空泵的性能參數(shù)

　　1、真空泵的極限壓強(qiáng)

　　泵的極限壓強(qiáng)單位是Pa，是指泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓強(qiáng)。

　　2、真空泵的抽氣速率

　　泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩，并按規(guī)定條件工作時，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩指定位置測得的平衡壓強(qiáng)之比。簡稱泵的抽速。

　　3、真空泵的抽氣量

　　真空泵的抽氣量單位是Pam3/s或Pal/s。是指泵入口的氣體流量。

　　4、真空泵的起動壓強(qiáng)

　　真空泵的起動壓強(qiáng)單位為Pa，它是指泵無損壞起動并有抽氣作用時的壓強(qiáng)。

　　5、泵的前級壓強(qiáng)

　　真空泵的前級壓強(qiáng)單位是Pa，它是指排氣壓強(qiáng)低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。

　　6、真空泵的最大前級壓強(qiáng)

　　真空泵口最大前級壓強(qiáng)單位是Pa，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強(qiáng)。

　　7、真空泵的最大工作壓強(qiáng)

　　真空泵的最大工作壓強(qiáng)單位是Pa，它是指對應(yīng)最大抽氣量的入口壓強(qiáng)。在此壓強(qiáng)下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。

　　8、壓縮比

　　壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強(qiáng)與入口壓強(qiáng)之比。

　　9、何氏系數(shù)

　　泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速與該處按分子瀉流計算的理論抽速之比。

　　10、抽速系數(shù)

　　泵的實(shí)際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。

　　11、返流率

　　泵的返流率單位是g/cm2.s。它是指泵按規(guī)定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率。

　　12、水蒸氣允許量

　　水蒸氣的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。

　　13、最大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)

　　最大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)單位是Pa。它是指在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強(qiáng)。

　　二、真空泵的使用范圍

　　由于各種真空泵所具有的工作壓強(qiáng)范圍及起動壓強(qiáng)均有所不同，因此在選用真空泵時必須滿足這些要求。表3-1給出了各種常用真空泵的工作壓強(qiáng)范圍及泵的起動壓強(qiáng)值，以供參用。

　　表3-1常用真空泵的工作壓強(qiáng)范圍及起動壓強(qiáng)

　　真空泵種類 工作壓強(qiáng)范圍（Pa） 起動壓強(qiáng)（Pa）

　　活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105

　　旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105

　　水環(huán)式真空泵 1×105—2.7×103 1×105

　　羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103

　　渦輪分子泵 1.3—1.3×10-5 1.3

　　水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10-1 1×105

　　油擴(kuò)散泵 1.3×10-2—1.3×10-7 1.3×10

　　油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10-2 <1.3×105

　　分子篩吸附泵 1×105—1.3×10-1 1×105

　　濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10-9 6.7×10-1

　　鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10-9 1.3×10-2

　　鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10-11 1.3×10

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