凡是從設備中抽出氣體，使設備內部達到真空的機械稱為真空抽氣機或真空泵。從結構上真空泵大致可分為：往復式真空泵、回轉式真空泵和射流式真空泵等。1、往復式真空泵。往復式真空泵適用于抽送不含固體顆粒、無腐蝕性的氣體。這種真空泵的抽氣速率較大，真空度較高。故在化工廠中廣泛應用。但其結構復雜，維修量大。2、水環式真空泵。水環式真空泵是回轉真空泵的一種。3、射流式真空泵。射流式真空泵是利用一種壓力較高的工作流體來輸送另一種流體。循環水真空泵廣泛用于蒸發蒸餾、結晶、過濾、減壓、升華等作業，低溫冷卻循環水真空泵是真空泵和低溫冷卻泵的結合。即可以抽真空，又可以提供低溫冷卻循環水，是減壓蒸餾和減壓濃縮的良好輔助設備，特別適應配備旋轉蒸發器，不但減少了使用空間，而且降低了真空度，節省了水資源，被現代實驗室廣泛裝備。