偏心輪在泵腔內作回轉運動?使由滑環和滑桿分隔的兩個工作室容積作周期性變化以實現抽氣的真空泵。滑閥真空泵主要由泵體?滑環?偏心輪?轉動軸和滑桿組成。圖滑閥真空泵的工作原理為滑閥真空泵的工作原理?圖中a?b?c滑閥真空泵的工作原理表示工作循環。轉動軸的軸心與泵腔中心重合。在滑環上固定的長方形滑桿?能在裝于泵體中的滑動導軌中上下滑動和左右擺動。泵腔被滑環和滑桿分隔成a?b兩個工作室。偏心輪逆時針方向旋轉時?b室容積逐漸減小?吸入的氣體逐漸被壓縮?壓力逐漸增高。同時?a室容積則逐漸擴大?其中的氣體壓力不斷降低?被抽氣體便從滑桿的腔孔源源不斷地從吸氣口吸入a室。當b室氣體壓力上升到高于大氣壓力時?便推開排氣閥排入大氣?而a室容積則達到最大值?這時吸氣終了?從而完成一個工作循環。偏心輪連續不斷地旋轉?氣體便不斷地被吸入?壓縮和排出而達到連續抽氣的目的。在泵腔內各相對運動件表面間有油膜密封?所以這種真空泵是一種油封式機械真空泵。滑閥真空泵極限壓力?單級泵為0.4帕?雙級泵為0.065帕?工作壓力范圍為1×105~13帕?抽速范圍為8~600升/秒(1升=10-3米3)。滑閥真空泵可單獨作用或作為真空機組的前級泵。如安裝氣鎮閥?可抽含有少量可凝性蒸汽的氣體。滑閥真空泵在真空冶煉?真空干燥?真空浸漬和真空蒸餾等方面都得到廣泛應用。