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檢測(cè)儀器 >> LED藍(lán)寶石碳化硅質(zhì)量檢測(cè)儀器 >> 平整度測(cè)試系統(tǒng)：OWT-200
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
OWT-200平整度測(cè)試系統(tǒng)，采用光學(xué)方法測(cè)量晶圓、藍(lán)寶石、Sic、Si、玻璃等材質(zhì)的表面特征，在無需任何接觸的情況下測(cè)量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等，可在線和離線測(cè)量。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
■厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測(cè)量；
■無接觸測(cè)量；
■無需校準(zhǔn)；
■高精度、高重復(fù)性；
■樣品臺(tái)可選：4寸、6寸、8寸；
■強(qiáng)大的分析軟件，可顯示3D表面形貌；
■同時(shí)進(jìn)行各種參數(shù)的測(cè)量，具備超高的測(cè)試速度；
技術(shù)參數(shù)：
■TTV
■精確度：±0.1um
■重復(fù)性精度：0.01um
■厚度
■精確度：±0.2um
■重復(fù)性精度：0.1um
■測(cè)試范圍：50-2000um
■翹曲度/彎曲度
■精確度：0.5um
■重復(fù)性精度：0.2um
■測(cè)試范圍：200um
■整機(jī)參數(shù)
■測(cè)量時(shí)間：<100秒
■最大測(cè)量尺寸：8寸
■尺寸：550*602*291mm
■整機(jī)功率：800W
典型客戶：
藍(lán)寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業(yè)等。
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