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軟件介紹

硅中氧碳含量測試軟件是一個用于半導(dǎo)體及太陽能硅料及硅片氧碳含量測試的軟件，該軟件可以功能強(qiáng)大，不僅可以對硅中氧、碳含量測量分析，還可以對電池片及IC制程中的表面膜厚分析，此外還可以進(jìn)行BPS、PSG、FSG、SiN/SiON分析等，是廣大半導(dǎo)體及太陽能光伏用戶的氧碳測試的最佳幫手。



軟件功能特點

■ 適用于直拉硅單晶棒及硅片公司、區(qū)熔硅單晶棒及硅片公司、太陽能電池片公司及 IC 半導(dǎo)體公司
■ 同時可以擴(kuò)展到多晶硅料，但需要通過切割或機(jī)械打磨成片
■ 測試范圍廣，功能強(qiáng)大
■ 提供磷硼砷銻等多種母合金的摻雜功能；
■ 不僅可以做到硅料硅棒硅片氧、碳含量自動、快速、準(zhǔn)確的測量，還可以進(jìn)行電池片及半導(dǎo)體膜厚分析，BPSG分析,PSG分析，F(xiàn)SG分析，SiN/SiON分析
■ 強(qiáng)大的譜圖數(shù)據(jù)庫
■ 全球通用的權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)
■ 與 Windows 完全兼容。



推薦軟件運行環(huán)境

■ CPU：P4同類檔次或更高檔次以上。
■ 內(nèi)存： 256M以上內(nèi)存。
■ 硬盤空間： 40G以上均可。
■ 顯示器： VGA或更高分辨率，建議分辨率為 1024x768像素。
■ 操作系統(tǒng): Microsoft Windows 2000/XP/Vistas